Instituição: prevê-se que o consumo de energia da máquina de litografia ASML High NA EUV seja de cerca de 1400 quilowatts.

De acordo com o TechInsights, cada máquina de litografia de EUV ASML 0,33NA já consome 1170 kW, e é esperado que a máquina de litografia 0,55NA (HighNA) consuma ainda mais, chegando a 1400 kW.

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